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中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設備以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學3D表面形貌輪廓儀利用光學干涉原理研制開發，能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能.

中圖儀器SuperViewW科研級三維白光干涉儀基于白光干涉原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW光學平面度檢測設備是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

中圖儀器SuperViewW國產3D白光干涉儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW1國產自研白光形貌干涉儀具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。