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中圖儀器SperViewW1白光干涉儀測三維形貌儀主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀光學輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉微觀形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW系列3D形貌白光干涉儀基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

SuperViewW1白光干涉光學測厚儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉3D形貌測量儀集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。