




產品簡介
中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺解決測量精度不足、穩定性差、安裝受限、多軸測量難等難題,以突破性激光干涉技術,一站式解決高要求場景下的位置檢測難題,為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。
中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺納米級精準測量解決方案,解決測量精度不足、穩定性差、安裝受限、多軸測量難等難題,以突破性激光干涉技術,一站式解決高要求場景下的位置檢測難題,為超精密加工、微電子制造、航空航天等領域打造“精準+高效+靈活"的測量體驗。

1. 精度焦慮破解:10nm分辨率+0.2ppm線性精度,滿足納米級測量需求,杜絕加工誤差導致的產品報廢
2. 復雜工況適配:熱源隔離設計+環境實時補償,溫度/氣壓/濕度變化不影響數據穩定性
3. 效率成本雙升:多軸同步測量+快速安裝準直,減少設備調試時間,提升生產線流轉效率
4. 場景無界適配:4m大量程可拓展,動態速度支持2m/s,覆蓋靜態檢測到高速運動全場景

1. 納米級信號輸出:10nm高分辨率(支持外部拓展),正交數字/1Vpp正余弦信號雙輸出,適配各類控制器
2. 全環境自適應:一體化環境氣象站,實時補償環境參數對測量的影響,數據長期可靠
3. 靈活安裝設計:激光主機與探頭分離,3m鎧裝光纖連接,遠離熱源干擾,狹小空間也能便捷安裝
4. 多維度測量支持:單軸/雙軸/三軸自由配置,搭配多種干涉探頭,輕松實現多自由度測量
5. 雙重使用模式:既可作為激光干涉儀獨立測量,也可接入系統實現閉環位置反饋控制
1. 半導體制造:光刻機晶圓精準定位、精密工件臺閉環反饋,助力芯片制造良率提升
2. 航空航天:發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準,保障核心部件可靠性
3. 精密加工:數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量,提升加工精度與效率
4. 科研領域:光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制,支撐前沿研究數據精準度

1. 精度碾壓傳統方案:相比鋼帶尺/玻璃光柵,PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺柵距更精準、分辨率更高,環境補償技術進一步保障數據穩定性
2. 定制化適配能力:支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出,根據客戶生產場景量身定制方案
3. 降本增效屬性:體積小巧降低阿貝誤差,安裝快捷減少調試成本,動態測量能力適配高速生產線
4. 全周期可靠保障:激光校準認證加持,數據可追溯,滿足工業生產合規要求
1. 定制化方案:按需提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配,貼合實際生產需求
2. 專業技術支撐:1年質保+7×24小時全球技術團隊響應,快速解決現場安裝、使用難題
3. 認證背書:提供激光校準證書,確保測量數據精準合規,助力客戶通過行業審核
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注:產品參數將根據技術迭代持續優化,故本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。